SEMI E164 - EDA 공통 메타데이터 사양 -

Abstract

이 사양의 목적은 장비 자체 설명에 대한 SEMI E125 사양을 기반으로 장비 메타데이터의 공통 표현 및 규칙을 정의하여 구현 간의 공통성을 촉진하는 것입니다.

이 사양의 범위에는 다음이 포함됩니다.

- 장비 메타데이터의 특정 요소를 정의하기 위한 일반적인 접근 방식

- 300mm 반도체 공장에서 널리 사용되는 것을 포함하여 선택된 SEMI 통신 표준의 메타데이터 표현

이 사양은 SEMI E125-0710 및 SEMI E120-0310을 기반으로 장비 메타데이터를 정의합니다.

이 사양은 기판에 작용하는 생산 장비에만 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 표준 사양: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E40 — 처리 관리 사양

SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양

SEMI E90 — 기판 추적 사양

SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양

SEMI E116 — 장비 성능 추적(EPT) 사양

SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양

SEMI E125 — EqSD(장비 자체 설명) 사양

SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양

SEMI E134 — 데이터 수집 관리(DCM) 사양

SEMI E145 — XML의 측정 단위 기호 분류

SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양

SEMI E157 — 모듈 프로세스 추적 사양

개정 내역

SEMI E164-0414(재승인 0721)

SEMI E164-0414(기술 개정)

SEMI E164-0313E(편집 개정)

SEMI E164-0313(기술 개정)

SEMI E164-0712(최초 발행)

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