SEMI E162 - 450mm 전면 개방 배송 상자 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

이 문서의 목적은 450FOSB(Front-Opening Shipping Box)를 로드 및 언로드할 수 있는 반도체 제조 장비의 로드 포트의 기본 인터페이스 치수를 정의하는 것입니다. 이 문서의 의도는 혁신적인 솔루션을 제한하지 않고 로드 포트와 캐리어의 상호 운용성을 가능하게 하는 일련의 요구 사항과 기능을 정의하는 것입니다.

이 문서의 인터페이스 사양은 관련 SEMI 450mm FOSB 표준을 준수하는 캐리어에 의해 구동되며 해당 캐리어와 결합하도록 의도되었습니다.

 

적재 및 하역은 모든 종류의 시스템 또는 장치(예: 사람이 안내하는 차량 또는 오버헤드 호이스트 차량)를 사용하여 반자동 및 자동 모드에서 발생하는 것으로 가정합니다.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

SEMI M80 — 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양

 

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