SEMI E156 - 搬送intafeースに対する450mm AMHS스톡카의 구조 -

Abstract

本standanardは, global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている.現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org 에서 거래가 가능합니다.

本仕様は, 450 FOUP스톡카의 로드포트に対する寸法上の要求事項を定義する.本書の目的は，さまざまなたいプの搬送装置およびストカーの間の物理intaフェースを定義する必須の形状と寸法を提供し，工場内での材料取り扱い上のさまざまな要求事項に適合するためにさまざまな自動搬送Systemを簡単に使用で きるようにする ことである。これは，스톡カーと搬送systemの両方が適合しなければならない인타페스의 4개 옵션을 定義する ことで実現する.定義 され ている option は以下のとおりである.

·옵션 A: 能動搬送(能動OHS 등)로 내부 스톡카의 로드포트에 FOUP를 사용할 수 있습니다.

·optionB:能動搬送(OHT 등)로, 외측 스톡카의 로드포트와 FOUPをピック(掬う)mataはplayis(卸す) 가 가능 합니다.optionB의 概念図を図2 に示쑤。

참고: OPTIONB 의 寸法の要求事項は, SEMI E154 로 카바시가 있습니다.

·optionC:受動搬送(受動OHS , コンベヤなど)그리고，스톡카노포트位置와 FOUPを搬送する. 쑤。

·옵션 D : 受動搬送(콘베야나 등)로, 내부 스톡카의 포트 位置와 FOUP 를 가능하게 합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 사양

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