SEMI E163 - 특별히 지정된 영역 내에서 레티클 및 기타 극도로 정전기에 민감한(EES) 항목 취급 가이드 -

Abstract

이 표준은 Metrics Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 12월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 이용 가능; 원래 2012년 2월에 출판되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 제조 장비 및 시설에서 정전하 및 전기장으로 인한 생산성에 대한 부정적인 영향을 최소화하는 것입니다. 정전기 전하, 전압 및 전기장에 극도로 정전기에 민감한(EES) 레티클 및 기타 항목에 대한 취급 환경의 최적 정전기 호환성을 설정하기 위한 가이드입니다. 이 가이드는 SEMI E78 및 SEMI E129를 보완하며 대부분의 정전기 손상에 취약한 품목의 보호를 개선하기 위한 것입니다.

이 문서는 장비의 설계 및 테스트 중에 장비 제조업체와 레티클 및 기타 EES 항목을 사용하거나 생산하는 사람을 위한 가이드로 사용할 수 있습니다.

반도체 및 전자 장치 제조에 사용되는 공정 기술은 활성 피처 밀도 및 장치 복잡성을 지속적으로 증가시키고 있습니다. 통합 수준이 높아지고 상호 연결이 길어지고 전도체 분리가 작아짐에 따라 현장 관련 문제에 대한 민감도가 높아집니다. 이 문서는 기존 정전기 완화 기술에 대한 보완책으로 전기장을 면밀히 조사하여 손상 문제를 해결하기 위한 권장 사항을 제공합니다.

이 문서의 범위는 특별히 지정된 제어 환경 내에서 레티클 및 기타 EES 품목을 취급하기 위한 원칙의 정의와 해당 환경 내에서 유지하기 위한 적절한 수준의 전기장 권장 사항으로 제한됩니다.

이 문서는 정전기 전하 제어의 확립된 방법(예: 100볼트 인체 모델[HBM] 감도 장치에 대한 ANSI/ESD S20.20에 정의된 방법)과 충돌하는 접지 및 재료 선택에 대한 권장 사항을 제시하므로 여기에 제공된 지침은 다음과 같아야 합니다. 특별히 지정되고 명확하게 식별된 영역 내에서만 적용됩니다.

이 문서는 SEMI E78, SEMI E129, SEMI E43 및 정전기 매개변수를 측정하는 기타 방법을 참조합니다. 일련의 문서는 보완적이며 광범위한 조건에서 정전기 위험의 다양한 측면을 관리하는 지침을 제공합니다.

이 문서에서는 정전기장 및 효과에 대해 자주 언급하지만 이 가이드의 목적상 교류, 가변 및 과도 전기장 및 전자기장도 포함하는 것으로 간주해야 합니다. 이러한 모든 필드는 잠재적으로 EES 항목 내에서 전기적 스트레스를 생성할 수 있습니다.

이 문서에서 레티클을 언급할 때마다 이것은 깊이 연구되고 설명 목적으로 사용되는 EES 항목의 예로 간주되어야 합니다. 논의 중인 원칙은 극단적인 정전기 감도를 나타내는 다른 품목과도 관련이 있을 수 있으므로 지침이 레티클 및 레티클 취급에만 국한된 것으로 간주되어서는 안 됩니다. 이러한 EES 항목에는 웨이퍼의 작은 기하학적 장치 구조, 충전 장치 모델(CDM) 감도가 문제가 될 수 있는 백엔드 처리의 패키지 장치, 평면 패널 디스플레이(FPD) 제조의 유리 장치 구조가 포함될 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E43 — 물체 및 표면에 대한 정전기 측정 가이드
SEMI E78 — 장비의 ESD(정전기 방전) 및 ESA(정전기 끌림) 평가 및 제어 가이드
SEMI E129 — 반도체 제조 시설의 정전기 전하 평가 및 제어 가이드

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