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SEMI E145 - XML에 기록할 수 있는 測定単位에 대한 기록 -
Abstract
本standaredは， 글로벌 정보 및 통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews. orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能となる.初版は2006年3月発行。
現在のSEMIstandadeに拡張可能markアップ言語（ XML ）表記法を含めることは, XML技術に対する関心が業界で高まっていることを反映している.本standadeーでは, SEMI E5 , SEMI E6 , および国際単位系( SI )で定義された単位に基づき，半導体産業のためにXMLによる測定単位の記号表記を定義するその目的は，半導体産業に共通。単位を表す一連の標準記号を規定し，共通規則を用いた標準手法に基づいて他の記号を追加するための仕組みを示すことである.
참조된 SEMI 표준 SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E6 — 장비 반도체 설치 문서 가이드
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
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