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SEMI E142 - 基板マッpingの仕様 -
Abstract
참고: SEMI E142.1, SEMI E142.2, およびSEMI E142.3 의 改訂を反映して, 0211 의 出版西クルにて, SEMI E142 의 出版年月が改訂された。
웨하，후레임，스트립（短冊状下地），트레이너의 基板のマップデータを報告，保存，伝送する際に必要なデータ項目を本書は定義するものである.
하위 표준(포함)
SEMI E142.1-0211 - 기본 XML 스키마
SEMI E142.2-0211 — 기초매핑용 SECS II 프로트콜
SEMI E142.3-0211 - 웹 서비스
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 – 이벤트 데이터 수집 및 동적 이벤트 보고서 구성
SEMI E39 — 객체 서비스 표준; 개념, 행동 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS II 프로토콜
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
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