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SEMI E138 - XML 반도체 공통 부품 사양 -
Abstract
이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2005년 3월에 출판되었습니다. 2016년 5월 이전에 게시되었습니다.
이 문서는 단일 표준에 국한되지 않고 여러 표준에서 공통되는 공통 XML 요소의 정의를 위한 중앙 위치입니다.
이 문서는 공통 구성 요소로 간주되는 오류, 데이터 유형, 데이터 값 유형 및 단위의 표현을 정의합니다. 공통 구성 요소는 XML 기반 SEMI 표준 인터페이스 사양의 일부로 생성된 다른 XML 문서 또는 스키마와 관련하여 사용됩니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양
SEMI E145 — XML의 측정 단위 기호 분류
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