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F10300 - SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器(キャニスター)の形状の仕様
F08600 - SEMI F86 - 1.125タイプ4ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
E03000 - SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델
SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能,サブプロセス,最終組立のためのガイド
F00100 - SEMI F1 - 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
F08700 - SEMI F87 - 1.125タイプ4ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
S00400 - SEMI S4 - キャビネット内のガスシリンダーの分離/分離に関する安全ガイドライン
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM)
SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S01100 - SEMI S11 - 半導体製造装置のミニ環境に関する環境、安全、および健康に関するガイドライン
E03501 - SEMI E35.1 - 機器所有コストの比較指標に関するガイド
SEMI E35.1 - 機器所有コストの比較指標に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02300 - SEMI S23 - 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절감 가이드
F09000 - SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサー/アクチュエータネットワークの仕様
S01200 - SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境、健康および安全ガイドライン
SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境、健康および安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09900 - SEMI E99 - キャリアIDリーダ/ライタ機能標準:コンセプト、挙動、およびサービスに関する仕様
F08400 - SEMI F84 - 1.125 インチ タイプ 2 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様
E08100 - SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様
SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S01400 - SEMI S14 - 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準
SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04000 - SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준
SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F08500 - SEMI F85 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成の 1 ポート コンポーネントの寸法仕様 表面実装ガス分配システム
F08300 - SEMI F83 - 1.125タイプ2ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
E10600 - SEMI E106 - 300 mm ウェーハの物理インターフェイスおよびキャリアに関する SEMI 規格の概要ガイド
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