SEMI 3D8 - 3DS-IC 一時的ボンドデボンド (TBDB) プロセスで 300 mm キャリア ウェーハとして使用するシリコン ウェーハを記述するためのガイド

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E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能,サブプロセス,最終組立のためのガイド
F00100 - SEMI F1 - 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
F08600 - SEMI F86 - 1.125タイプ4ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM)
SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09000 - SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサー/アクチュエータネットワークの仕様
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準
SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計(APIMS)の確認のためのテスト方法
E09900 - SEMI E99 - キャリアIDリーダ/ライタ機能標準:コンセプト、挙動、およびサービスに関する仕様
E10600 - SEMI E106 - 300 mm ウェーハの物理インターフェイスおよびキャリアに関する SEMI 規格の概要ガイド
F08500 - SEMI F85 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成の 1 ポート コンポーネントの寸法仕様 表面実装ガス分配システム
S01800 - SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物の環境、健康、安全に関するガイドライン
F08300 - SEMI F83 - 1.125タイプ2ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
E08100 - SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様
SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100