SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物の環境、健康、安全に関するガイドライン -

本安全ガイドラインは、global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されています。現版は 2011 年 12月 24 日、 global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2002年11月発行。

注意: 本書は、 2011年に全面的に書き換えられました。

本安全ガイドラインは、供給から除害まで、可燃性シリコン化合物の保管、取り扱い、および使用に関する最低限の安全および健康の基準となることを目的とします。

本安全ガイドラインは、半導体、FPD、PV製造装置、および処理のために可燃性シリコン化合物を使用するその他の装置に関する最低限の安全および健康の基準となることも目的とする。

本安全ガイドラインの範囲内となる可燃性シリコン化合物を，表1に示す。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S4 — 調剤キャビネットに含まれる化学シリンダーの分離に関する安全ガイドライン
SEMI S5 — ガスシリンダーバルブの流量制限装置のサイズ設定と識別に関する安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン