SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

Please be aware that information contained in older versions of SEMI Standards may be obsolete. SEMI encourages the use of current Standards.

936 製品

P00900 - SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス レジストの機能試験ガイド
SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス レジストの機能試験ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11900 - SEMI E119 - 300mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス(FOBIT)の機械仕様
E12700 - SEMI E127 - 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC)
E05800 - SEMI E58 - 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
P02200 - SEMI P22 - フォトマスク欠陥の分類とサイズ定義についてのガイドライン
E05416 - SEMI E54.16 - LonWorks のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様
E06200 - SEMI E62 - 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
E05415 - SEMI E54.15 - SafetyBUS p のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信仕様
E12400 - SEMI E124 - 工場全体効率 (OFE) およびその他の関連する工場レベルの生産性指標の定義と計算に関するガイド
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様
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