SEMI E54.15 - SafetyBUS p のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信仕様 -

Abstract

注意: このドキュメントは、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 9 月 5 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2005 年 2 月に出版されました。以前は 2006 年 7 月に出版されました。

この規格は、SafetyBUS p プロトコルに基づく通信仕様を定義し、半導体製造装置内の SEMI 指定のデバイス モデル (共通およびデバイス固有) に従って動作するセンサー/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にします。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス (OSS)
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスのセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様

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