SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

Please be aware that information contained in older versions of SEMI Standards may be obsolete. SEMI encourages the use of current Standards.

936 製品

E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインターフェースポートと300mmカートの仕様
E13900 - SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様
SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16100 - SEMI E161 - トレーニングの明確化および分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニングの明確化および分類に関するガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12400 - SEMI E124 - 総合工場効率(OFE)およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド
E06200 - SEMI E62 - 300mmフロントオープニング・メカニカルインターフェース(FIMS)の仕様
E11800 - SEMI E118 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェースの仕様 -- ウェーハ ID リーダーの機能標準: 概念、動作、およびサービス
S01300 - SEMI S13 - 製造装置とともに使用することが意図された装置ユーザーへの提供文書のための環境、健康、安全ガイドライン
E04200 - SEMI E42 - レシピ管理スタンダード:コンセプト、挙動、およびメッセージサービス
E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
PV05500 - SEMI PV55 - 太陽光発電製造システム用機器間の水平通信のためのデータ定義仕様
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