SEMI S13 - 製造装置とともに使用することが意図された装置ユーザーへの提供文書のための環境、健康、安全ガイドライン -

Abstract

本基準は、global Environmental Health & Safety Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年12月20日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 semiviews.org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は1998年発行。前版は2005 年3 月発行。

本安全ガイドラインは、装置の操作、保守および設置に関するリスクを軽減するため、製造装置とともに使用することが意図された提供文書（取扱説明書、保守マニュアル、設置マニュアル、安全マニュアル等）に記述される環境、健康、安全情報として考慮すべき事項を検討している。

本安全ガイドラインは、装置ユーザーが実行すべき作業が記述された装置ユーザーへの提供文書、装置の操作、保守、サービス、インストール、汚染除去、コミディッショニングの担当者が読むべきということを意図している。

本安全ガイドラインは、製造、計測、組立、試験のために、装置とともに使用されることが意図された装置ユーザへの提供文書に適用される。

本安全ガイドラインには次の項目が含まれます。

• 目的
• 範囲
• 制限
• 参照基準および文書
• ─
• デバイスユーザーへの提供文書の一般的な基準
• 装置固有の危険性
• 危険性エネルギーの制御手順
• 危険警告
• 作業固有の危険性
• 材料安全データシート（ MSDS：製品安全データシート）
• 個人防護具（PPE:個人用保護具）
• 装置，消耗部品，保守
• トレーニングに関する要求事項
• 緊急連絡先と対応

SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境衛生および安全性ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド
SEMI S26 — FPD製造システムの環境衛生および安全性ガイドライン

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