SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

Please be aware that information contained in older versions of SEMI Standards may be obsolete. SEMI encourages the use of current Standards.

936 製品

P02900 - SEMI P29 - 減衰位相シフトマスクおよびマスクブランクに特有の特性の仕様
E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様:概念、挙動、サービス(IMMC)
E11800 - SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能基本: 概念,動作,サービス
E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド
SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様
E10500 - SEMI E105 - CIM フレームワーク スケジューリング コンポーネントの暫定仕様
E11000 - SEMI E110 - 300 mm ロード ポートのロード ポート操作インターフェイスのインジケータ配置ゾーンとスイッチ配置ボリュームのガイドライン
E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・フォールトコンポーネントに関する暫定仕様
E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
P03600 - SEMI P36 - 限界寸法測定走査型電子顕微鏡 (CD-SEM) の倍率基準ガイド
SEMI P36 - 限界寸法測定走査型電子顕微鏡 (CD-SEM) の倍率基準ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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