SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

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936 製品

E03400 - SEMI E34 - マスフローデバイスの取り外しおよび輸送に関する安全ガイドライン
PV01300 - SEMI PV13 - 渦電流センサーを用いたシリコンウェーハ、インゴット、およびブリックの過剰電荷キャリア再結合ライフタイムの非接触測定に関する試験方法
E10000 - SEMI E100 - 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
F09000 - SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM)
SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサー/アクチュエータネットワークの仕様
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
E05409 - SEMI E54.9 - Modbus/TCP over TCP/IP のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様
E00109 - SEMI E1.9 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
E04800 - SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様
SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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