SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

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936 製品

F10800 - SEMI F108 - 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造アプリケーション向けの液体化学配管コンポーネントの統合に関するガイド
F02700 - SEMI F27 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) によるガス分配システムおよびコンポーネントの水分相互作用および含有量の試験方法
E04000 - SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준
SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
P02200 - SEMI P22 - フォトマスクの欠陥分類とサイズ定義のガイドライン
SEMI P22 - フォトマスクの欠陥分類とサイズ定義のガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16200 - SEMI E162 - 450mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様
F09100 - SEMI F91 - 1.5 インチ タイプ 2 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
E15600 - SEMI E156 - 搬送インターフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械の仕様
E10900 - SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS)
SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E10700 - SEMI E107 - 歩留まり管理システム用の電気故障リンクデータフォーマットの仕様
E10000 - SEMI E100 - 6インチまたは230 mmのレチクルの搬送および保管に用いられるレチクルSMIFポッド(RSP)の仕様
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