SEMI E107 - 歩留まり管理システム用の電気故障リンクデータフォーマットの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 5 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2010 年 6 月に www.semi.org で入手可能です。初版は 2001 年 3 月に出版されました。以前は 2001 年 11 月に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書の目的は、試験装置から歩留り管理システムに渡される特定のデータ形式を標準化することです。歩留まり管理システムは、本書の用語セクションで説明されているように、詳細なテスト データとウェーハ上のパターンの幾何学的欠陥データのための一種のデータ サーバーです。

本書は、試験装置の電気的故障情報を一元的に管理・分析する歩留まり管理システムを前提としています。試験装置の故障情報には、ビットマップデータ、ビンデータ、ウェーハ検査装置やレビューツールなどの検査情報が含まれます。データファイル形式の標準化により、顧客や関連ベンダーの開発負担を軽減します。

この文書は、試験装置から歩留り管理システムに転送するためのデータ ファイル形式を指定します。

この文書は、一般的な地図データ項目標準を拡張したものです。つまり、SEMI G81 と、現在開発中の一般的な地図データ フォーマットのドキュメントです。この文書は一般仕様を再定義するものではありません。

この文書の範囲は、データ項目とその形式を定義することだけです。データファイルの作成方法、データ作成環境、ファイルの命名規則などは本書の範囲外です。また、データを転送するための通信プロトコルについては、この文書の範囲外です。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30.1 — 特定機器モデルの検査およびレビュー (ISEM)
SEMI G81 — 地図データ項目の仕様
SEMI G85 — 地図データ形式の仕様

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