SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

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936 製品

MS00700 - SEMI MS7 - 電子デバイスパッケージへのマイクロ流体インターフェースの仕様
P00100 - SEMI P1 - 硬質表面フォトマスク基板の仕様
SEMI P1 - 硬質表面フォトマスク基板の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラーで使用されるガス、ガス混合物、および蒸発性材料を参照するための実践
P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ機能の仕様
SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ機能の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
M06200 - SEMI M62 - シリコンエピタキシャルウェーハの仕様
SEMI M62 - シリコンエピタキシャルウェーハの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E04000 - SEMI E40 - プロセス管理スタンダード
SEMI E40 - プロセス管理スタンダード セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E15800 - SEMI E158 - 450mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア(450FOUP)とキネマティックカプリングの機械仕様
E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び、輸送のための多目的キャリア(MAC:Multi Application Carrier)の機械仕様
F09400 - SEMI F94 - 1.5 インチ 4 つのファスナー構成タイプの表面実装ガス分配システム用の 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様F09400 - SEMI F94 - 1.5 インチ 4 つのファスナー構成タイプの表面実装ガス分配システム用の 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
G09000 - SEMI G90 - テスト・パッケージング工程用300mmウェーハコインスタック型出荷容器の仕様
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