SEMI E40 - プロセス管理スタンダード -

Abstract

本標準は、Information and Control Global Technical Committeeで技術的に承認されています。現版は 2013 年 6 月 4 日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2012年3月発行。

注意: SEMI E40は、 SEMI E40.1 の改訂を反映して、 0813 出版サイクルにて出版年月が更新されました。

工場でのオートメーションを実現するためには、装置での材料処理に対する自動化された管理およびコマンドは重要な要素の一つである。半導体製造環境における通信の要求事項を記載する。

また、材料を処理する概念、処理に関するデバイスの動作、および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。

本基準においてコミュニケーション・サービスを定義することによって、独立したシステムに関しても共通の基準を置くことが可能となる。また、コミュニケーション・サービスの存在を想定することで、アプリケーション・ソフトウェア開発や、それらを提供するソフトウェア製品を開発することが可能となります。

自動化されたプロセス管理の実装により、材料の誤った処理を排除することができる。準拠して、指定された最低限の一連の標準・サービスが必要である。

本標準の範囲は、独立したプロセスジョブを基にした自動の材料処理である。これは、クラスタツール内のプロセス管理のための必要な機能を提供する。タイプの装置に対するホストコントロールにも適用できることができます。

本基準は、ある材料グループの同一処理に対する個別管理のサポートや、別のグループの並行処理をサポートする。処理はどちらの材料のタイプによって指定してもよい。

チューニング・メカニズムによる，プロセスステップの間限定されたフィードフォワードおよびフィードバックコントロールが可能である。の必要条件が満たされることは期待できない。事後のチューニングと複雑なデータ処理に対するより融通性のある他のメカニズムが必要である。

本スタンダードは、処理のための材料を受け取るサービス、あるいは処理が完了した後に払い出すサービスは提供されていません。前提としている。

本標準は，概念と動作からメッセージサービスにいたるまでの方法を表しているが，メッセージプロトコルは定義していない。

メッセージサービスでは、交換されるメッセージおよびそのメッセージに含まれないデータを明確に定義している。るかについての情報は含まれません。この追加情報は、メッセージプロトコルに含まれます。

定義されたサービスは，複数のプロトコルに適応される。特別なプロトコルへのプロセス管理サービスの選択肢に関する情報（例，SECS- Ⅱ ）は，補助基準として追加される。

サービスは，そのサービスのユーザおよび提供元と継続性のある通信接続を前提にしている。この標準の範囲外である。

下位文書:

SEMI E40.1-0813 — プロセス管理標準へのSECS- Ⅱのサポート

参照されるSEMI規格

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E30 —製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E53 — イベントレポート

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