Japan Store
SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ機能の仕様 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
ウェーハステッパーのオーバーレイ機能の定義 ウェーハステッパーの主な用途と一致して確立されている (つまり、非常に大規模な集積回路の製造)。こちらも付属 関連パラメータの定義です: レジストレーション、露光フィールド、良好 フィールドと配置。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI P18-92 (再承認 1104)E (編集改訂)
SEMI P18-92 (再承認 1104)
SEMI P18-92 (初公開)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件