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SEMI MS7 - 電子デバイスパッケージへのマイクロ流体インターフェースの仕様 -
Volume(s):
MEMS
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な MEMS 委員会によって技術的に承認されました。この版は、2008 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2008 年 6 月には www.semi.org で入手可能になりました。
この文書は、電子デバイスとの流体インターフェースの業界標準を定義します。この仕様では、接続属性について説明し、この規格に準拠するデバイスとシステムの設計と構築に必要なインターフェイスの寸法を指定します。目標は、さまざまなベンダーのデバイスがオープン アーキテクチャを通じて相互接続できるようにすることです。
この仕様は、エレクトロニクスと流体工学の組み合わせを組み込んだ最先端の電子デバイス技術の機能を強化することを目的としています。これは、デバイス ユーザーに、時代遅れのインターフェイスを持ち込んだり、互換性や選択肢を失ったりする負担を与えることなく、製品の多用途性と市場での差別化のための十分な余地を提供することを目的としています。
参照されるSEMI規格SEMI MS6-0308 — マイクロ流体システムを接続するための設計と材料に関するガイド
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