SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F08500 - SEMI F85 - 1.125인치형 4파스나 정비사 페스마운트형 가스 개조 시스템용 1포트 콘포트의 최신형
F08500 - SEMI F85 - 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 단일 포트 구성 요소의 치수 사양
F08600 - SEMI F86 - 1.125인치형 4파스나 정비 서퍼마운트형 가스 개조 시스템용 2포트 콘포넨트(MFC/MFMを除く)의 추가 설계
F08600 - SEMI F86 - 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F08700 - SEMI F87 - 1.125인치형 4파스나 정비 서퍼마운트형 가스 개조 시스템용 3포트 콘포넨트(MFC/MFM을 유지)의 추가 설계
F08700 - SEMI F87 - 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 3포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F08800 - SEMI F88 - 1.5인치형 서프마운트형 가스종합시스템용 스탄다드사이즈마스후로콘트로라/마스후로메타의 확대법에 관한 사양
F08800 - SEMI F88 - 1.5인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 표준 크기 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 치수 사양
F08900 - SEMI F89 - 1.5인치형 서프마운트형 가스종합시스템용 콘파크트사이즈 마스후로콘트로라/마스후로미터의 寸法의 타메의 仕様
F08900 - SEMI F89 - 1.5인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 질량 유량계 및 질량 유량계 치수 사양
F09000 - SEMI F90 - 1.5인치형 2파스나 서퍼마운트형 가스 개조 시스템용 스탄다드 사이즈 2포트 콘포넨트(MFC/MFMを除く)의 최종적인 설계
F09000 - SEMI F90 - 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 표준 크기 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외) 치수 사양
F09100 - SEMI F91 - 1.5인치형 2파스나 서프마운트형 가스류 시스템용 콘파크트사이즈 2포트 콘포넨트(MFC/MFMを除く)의 한정된 사양
F09100 - SEMI F91 - 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 크기 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F09200 - SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
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