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SEMI F79 - 가스 차단 콘포넨트에 사용하는 가스의 시리콘과 가스의 합성에 의한 가이드 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本standanardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年6 月にwww.semi.org で入手可能となる。 初版は2003 年7 月発行。
참고 : 本文書は， 2010 年に全面的に改訂された.
本gaidの目的は，典型的なgas配送系の条件で動作するgas供給Systemの接gass経路において，시리콘과 接触するgasの適合性に関する리소스情報を특별하게 결정하세요.
참조된 SEMI 표준SEMI E52 — 디지털 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 가스, 가스 혼합물 및 증발 가능한 재료를 참조하기 위한 실습
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