SEMI F72 - 不動態化処理 した316Lstenress鋼部品の接gas表面の酸化膜のOージェ電子分光法(AES)による評価test方法 -

Abstract

本standanardは, global Gases Committee で技術的に承認されている.現版は2009年1月2日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2009年2月にwww.semi.orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2002年11月に発行された。

　

本書の目的は，高純度のgas配管systemeに取り付けられる不動態化処理した316Lstenress鋼部品の表面成分を特定する test方法を定義する ことである。本test方法は, 스텐레스鋼製の配管，継ぎ手，바르브，その他の部品の接gas表面に適用し，不動態化処理の有効性を測定する ことを目的とする。

　

本書は不動態化の効果の指標として，스텐레스・스처르管，継手，바르브他の部品の接gas表面を試験して，その表面および表面近くの組成を測定する方法を規定する.

　

本方法の目的は, crom富化した不動態酸化層内で再現性のよい測定値を得るため，装置の一般的なparameter および測定条件を記述する ことである.

　

本書 で は，stenress鋼表面のクロム富化した不動態酸化層の成分と厚さを特定し，配管，継ぎ手，바르브，その他の部品の表面汚染を検出するためのtest方法について記述する.この手順には，Oージェ電子分光法（AES）による表面元素成分の検出と測定が関わる。この手順では，受け入れtaまの表面から酸化膜層を貫通しベース金属にまで到る，크롬，鉄，닉켈，酸素，炭素の深さ方向の成分プロファイルを求める方法についても記述する。本測定方法により，酸化層の厚さおよび不動態化処理された領域全體のクロム富化に関する情報が得られる.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양
SEMI F60 — 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 조성에 대한 ESCA 평가를 위한 테스트 방법

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