SEMI 3D8 - 3DS-IC TBDB(Temporary Bond-Debond) 공정에서 300mm 캐리어 웨이퍼로 사용하기 위한 실리콘 웨이퍼 설명 가이드

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M08100 - SEMI M81 - 単結晶シリコンカーバイド基板に存在する欠陥についてのgaid
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D00900 - SEMI D9 - FPD기체의 사용어
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M01500 - SEMI M15 - 半絶縁gariumヒ素ウェーハ用 の鏡面 ウェーハの許容表面 欠陥表
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F10100 - SEMI F101 - 가스분할시스템의 힘 레규레이타의 성검법
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