SEMI C38 - 옥시염화인에 대한 지침 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C38-0306 - 대체됨

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 액체 화학 물질 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2005년 11월 29일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2005년 1월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다. 원래 1991년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 1999년 6월.

 

알림: 이 문서는 2006년에 완전히 재작성되었습니다.

 

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 옥시염화인의 등급에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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