SEMI M8 - 鏡面単結晶シリコンtestウェーハの仕様 -

Abstract

本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2006年11 月21日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007年2 月にwww.semi.org で，そして2007年3月にCD-ROM で入手可能となる。 初版は1982年発行，前版は2006 年3 月に発行された。

本 本 は は は は は 製造 製造 時 の 機械 テスト テスト や 日常 的 な な プロセス モニター に 使用 さ れる 新品 シリ シリ コンテストウェーハ に対する 要求 条件 について について 述べ て いる。

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M18 — 주문 입력을 위한 실리콘 웨이퍼 사양 양식 형식
SEMI M24 — 연마된 단결정 실리콘 프리미엄 웨이퍼 사양

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