SEMI C30 - 過酸化水素の仕様 -

Abstract

本standardは, global global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は20 10年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi .org 에서 1978년 12월 행 , 2001년 11월 11일 이전 .

 

本文書の目的は，半導体産業で使用される過酸化水素に対する要求条件を標準化し，matataこれらのstandadeーをsaポートする試験手順を標準化することである。試験方法は， 統計的に有効な結果を示している。

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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