SEMI F101 - 가스분할시스템의 힘 레규레이타의 성검법 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年11月発行。

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

　

本文書の目的は，gassystemmに設置される圧力レギュレータの試験方法を定義することである.て試験される레규레이타間のデータが比較可能になることが期待される.

　

本文書では, レギュレータの性能特性を数値化するための試験方法を規定する.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

SEMI F32 — 고순도 차단 밸브의 유량 계수 결정을 위한 테스트 방법

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