SEMI C1 - 液體化学薬品の分析のためのgaid -

Abstract

本GAIDは, 글로벌 액체 화학 위원회で技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で2009年12月16日に発行が承認された。 2010年2月にwww.semi.orgで入手可能となる.初版は1978年発行，前版は2005年7月発行。

 

液体化学薬品は半導体debaisを製造する際に広範囲に使用されており，液體化学薬品の純度は製造過程において데바이스の歩留まりに影響するものとして示される.

 

幅広い種類の半導体デバイスが製造されるため，異なったレベルの純度がそれぞれの液體化学薬品の標準やgaidlinetoして規定されている。

 

本gaidでは，特定の液體化学薬品に適合するために要求される標準化された検証過程のための，様々な分析過程について説明されている。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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