SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラーの信頼性を判断するための試験方法
E06800 - SEMI E68 - マスフローコントローラーのウォームアップ時間を決定するための試験方法
E06900 - SEMI E69 - サーマルマスフローコントローラーの再現性とゼロドリフトを決定するための試験方法
E07000 - SEMI E70 - 工具適応プロセスのガイド
SEMI E70 - 工具適応プロセスのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07200 - SEMI E72 - 機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E72 - 機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ
SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ
SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07600 - SEMI E76 - 300 mm プロセス機器の施設サービスへの接続ポイントのガイド
E07700 - SEMI E77 - サロゲートガスを使用したマスフローコントローラーの変換係数計算の試験方法
E07800 - SEMI E78 - 機器の静電気放電 (ESD) および静電気吸引 (ESA) を評価および制御するためのガイド
E07900 - SEMI E79 - 機器の生産性の定義と測定に関する仕様
SEMI E79 - 機器の生産性の定義と測定に関する仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08000 - SEMI E80 - マスフローコントローラーの姿勢感度を決定するための試験方法 (取り付け位置)
E08100 - SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08200 - SEMI E82 - インターベイ/イントラベイ AMHS SEM (IBSEM) の仕様
SEMI E82 - インターベイ/イントラベイ AMHS SEM (IBSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08300 - SEMI E83 - PGV 機械式ドッキング フランジの仕様
SEMI E83 - PGV 機械式ドッキング フランジの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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