SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

Please be aware that information contained in older versions of SEMI Standards may be obsolete. SEMI encourages the use of current Standards.

936 製品

F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブと共に使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
F08700 - SEMI F87 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブ推奨接合部の漏洩特性を測定する試験方法
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
E13200 - SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양
SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラー漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラー漏洩率の決定および記述のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス,ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
E08100 - SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05600 - SEMI E56 - ヒートマスフローコンソールの精度、直線性、リピータビリティ、短期再現性、ヒステリシス(履歴現象)およびデッドバンドを判断するテスト方法
View All