
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 -
Abstract
본 안전 가이드라인은 환경 보건 및 안전 글로벌 기술 위원회 (環境安全衛生グローバル技術委員会) 의 기술 승인을 받았次。 본 에디션은 글로벌 감사 및 평가 소위원회 (監査審査小委員会) 가 2015 년 1 월 5 일에 간행을 승인했으며 2015 年 2 月 www.semiviews.org と www.semi.org が登録されました。 1996年12月12日、2010年5月12日。
주의 : " 참고 :" 는 본 문서의 공식적인 내용이 아니며 , 공식 가이드라인을 수정하거나 대체하 지 않는다 。
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본 가이드 라인의 목적은 일관성 있고 실질적인 방법으로 위험 확인 , 위험성 추정 및 위험성 위험성 평가의 일반 원칙을 수립하는 데 있다 。 본 문서는 반도체 및 유사 산업의 장비에 대한 위험성 평가 수행을 위한 가이드를 제공하며 、 EHS は、EHS に準拠しています。
본 안전 가이드라인은 위험성의 우선순위 설정 및 관리 전략 개발에 도움이 될 것이다 。
장비의 라이프사이클을 고려한 위험성 평가에 적용된다 。
본 가이드라인은 위험 확인 、 위험성 추정 및 위험성 검토 과정의 개요를 제공한다 。
参照されるSEMI規格SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
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