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SEMI E56 - ヒートマスフローコンソールの精度、直線性、リピータビリティ、短期再現性、ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このドキュメントの目的は、ヒートマスフロープロセッサの精度、直線性、リピータビリティ、短期再現性、ヒステリシスおよびデッドバンドを定量化するための標準化された方法を提供するものである。
このドキュメントの時には、特殊なテストプログラムを提案することでなく、ここに含まれているパラメータをテストする使用するテスト方法を決定することにある。てや精度、バイアス（歪み）、直線性、短期再現性およびデッドバンドを徹底的にこのドキュメントを利用できることができる。
この方法において精度を計算する意義は，マスフロープロセッサ（ MFC ）の 1 人のユーザーが 1 つのプロセスにおいてある製造装置から別の装置まで移動すること，そして制御プロセスを行う間に1 台の製造装置内部でMFC を交換することを可能にすることにある。
本書は熱マスフロープロセッサ（ MFC ）の精度、直線性、リピータビリティ、ヒステリシスおよびデッドバンドをテストするための条件および手順を説明する。の種類のMFC に適用される場合は限定的ではありません。
このドキュメントはメーカーとユーザーとの間のコミュニケーションの共通基盤を提供するものである。
参照されるSEMI規格SEMI E17 — マスフローコントローラー過渡特性試験のガイドライン
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