SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

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936 製品

M06500 - SEMI M65 - 化合物半導体エピタキシャルウェーハに使用するサファイア基板の仕様
S02600 - SEMI S26 - FPD 製造システムの環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S26 - FPD 製造システムの環境、健康、安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E10300 - SEMI E103 - FOUPをエミュレートする300 mm枚葉ボックスシステムの機械仕様
E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース: 隔離バルブインタロックの標準
E01400 - SEMI E14 - プロセスまたはサポートツールから製品に寄与する粒子汚染の測定
E01905 - SEMI E19.5 - 300 mm 底面開口部標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様
E02000 - SEMI E20 - クラスターツールモジュールインターフェース: 電力および緊急オフ標準
E02400 - SEMI E24 - クラスターツールモジュールインターフェース: 隔離バルブインターロック標準
E02600 - SEMI E26 - ラジアル クラスター ツール フットプリント標準
SEMI E26 - ラジアル クラスター ツール フットプリント標準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
M04600 - SEMI M46 - ECV プロファイリングによるエピタキシャル層構造内のキャリア濃度を測定するための試験方法
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