SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M06100 - SEMI M61 - 매립층이 있는 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M61 - 매립층이 있는 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
M06100 - SEMI M61 - 埋め込み層付き시리콘에피타키샤르웨하노 사양
SEMI M61 - 埋め込み層付き시리콘에피타키샤르웨하노 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
M06200 - SEMI M62 - 실리콘 에피택시 웨이퍼 사양
SEMI M62 - 실리콘 에피택시 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
M06200 - SEMI M62 - 시리콘에피타키샤르웨하나 사양
SEMI M62 - 시리콘에피타키샤르웨하나 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
M06300 - SEMI M63 - 고분해능 X선 회절에 의해 GaAs 기판에서 AlGaAs의 Al 비율을 측정하기 위한 테스트 방법
M06300 - SEMI M63 - 화합물 半導체 에피타키샤르웨하 에 사용하는 사파이아기 板 の 仕様
M06400 - SEMI M64 - 적외선 흡수 분광법에 의한 반절연(SI) 갈륨 비소 단결정의 EL2 딥 도너 농도에 대한 테스트 방법
M06400 - SEMI M64 - 赤外線吸収スペクトル法による絶縁(SI)가리움히素単結晶内のEL2深いドナー濃度の試験方法
M06500 - SEMI M65 - 복합 반도체 에피택셜 웨이퍼에 사용할 사파이어 기판 사양
SEMI M65 - 복합 반도체 에피택셜 웨이퍼에 사용할 사파이어 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
M06500 - SEMI M65 - 화합물 半導체 에피타키샤르웨하에 사용하는 사파이아기모의 仕様
M06600 - SEMI M66 - MISFlattband 電圧―絶縁膜厚法を使った,酸化膜,およびhigh-κゲートスタックの有効仕事関数の算出法
M06600 - SEMI M66 - MIS 플랫 밴드 전압 절연체 두께 기법을 사용하여 산화물 및 고유전율 게이트 스택에서 유효 일함수를 추출하는 테스트 방법
M06700 - SEMI M67 - ESFQR, ESFQD 및 ESBIR 메트릭을 사용하여 측정된 두께 데이터 어레이에서 웨이퍼 니어 에지 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M06700 - SEMI M67 - 測定した厚さデータ配列からESFQR,ESFQD,ESBIR METRICS法を使ってウェーハの엣지근접형상状を決定するため의 作業方法
M06800 - SEMI M68 - 곡률 메트릭(ZDD)을 사용하여 측정된 높이 데이터 어레이에서 웨이퍼 니어 에지 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
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