SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M06800 - SEMI M68 - 測定した高さデータ配列から曲率法ZDDを使ってウェーハのedge近傍形状を決定するため의 作業方法
M07000 - SEMI M70 - 부분 웨이퍼 부위 평탄도를 사용하여 웨이퍼에 가까운 가장자리 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M07000 - SEMI M70 - 파샤르사이트평화도를 사용하는 웨이하노엣지근처형형상을 확정할 수 있는 작업방식
M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI용 시리콘・온・인슈레이타(SOI) 웨하노타메 사양
SEMI M71 - CMOS LSI용 시리콘・온・인슈레이타(SOI) 웨하노타메 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양
SEMI M71 - CMOS LSI용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
M07300 - SEMI M73 - 측정된 웨이퍼 에지 프로파일에서 관련 특성을 추출하기 위한 테스트 방법
M07300 - SEMI M73 - 확정된 웨이하엣지프로파일로부터 정보를 얻을 수 있는 특수성을 가진 테스트 방법
M07400 - SEMI M74 - 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양
SEMI M74 - 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
M07400 - SEMI M74 - 세로 450mm 메카니카르한드링 鏡面 ウェーハの仕様
SEMI M74 - 세로 450mm 메카니카르한드링 鏡面 ウェーハの仕様 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
M07500 - SEMI M75 - 연마된 단결정 갈륨 안티몬화물 웨이퍼 사양
SEMI M75 - 연마된 단결정 갈륨 안티몬화물 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
M07500 - SEMI M75 - 鏡面単結晶gariumanchimonsraisの仕様
SEMI M75 - 鏡面単結晶gariumanchimonsraisの仕様 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
M07600 - SEMI M76 - 개발용 450mm 직경 연마 단결정 실리콘 웨이퍼용 사양
SEMI M76 - 개발용 450mm 직경 연마 단결정 실리콘 웨이퍼용 사양 정상 가격₩427,000 KRW 할인 가격₩242,000 KRW
M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mm시리콘 単結晶鏡面 ウェーハの仕様
SEMI M76 - 開発用直径450 mm시리콘 単結晶鏡面 ウェーハの仕様 정상 가격₩513,000 KRW 할인 가격₩289,000 KRW
M07700 - SEMI M77 - Roll-Off Amount, ROA를 사용하여 Wafer Near-Edge 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M07700 - SEMI M77 - 로르오후량(ROA)(ROA)を使ってウェーハの엣지近傍形状を決定するための作業方法
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