SEMI M59 - 실리콘 기술 용어 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

실리콘 기술은 집적 회로 및 장치 산업의 근간을 이루고 있습니다. 공급업체와 고객 및 현장의 다른 사람들 간의 공통 이해와 올바른 의사소통을 촉진하기 위해 이 분야에서 사용되는 용어를 정의해야 합니다.

이 용어 문서는 반도체 실리콘 결정 및 웨이퍼와 관련하여 사용되는 용어의 정의를 다룹니다.

이 용어는 SEMI M1 및 SEMI M1에 요약된 기타 SEMI 표준에 지정된 실리콘 웨이퍼의 속성을 설명하는 일반적인 용어를 다룹니다. 이러한 속성에는 광택 및 기타 유형의 실리콘 웨이퍼의 전기적, 구조적, 화학적 및 치수적 특성과 표면 결함 및 오염이 포함됩니다. 단일 특정 테스트 또는 기타 속성에만 관련된 용어는 일반적으로 포함되지 않습니다.

이 용어는 실리콘 재료의 연구, 개발, 공정 제어, 검사 및 조달과 관련하여 사용할 수 있습니다.

정의가 나열된 거의 모든 용어는 명사입니다. 품사가 특정 용어에 대해 제공되지 않는 한 해당 용어는 명사라고 가정할 수 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습
SEMI MF1811 - 표면 프로필 데이터에서 전력 스펙트럼 밀도 함수 및 관련 마감 매개변수를 추정하기 위한 가이드

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