SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E07200 - SEMI E72 - 300mm 두께의 평면도
SEMI E72 - 300mm 두께의 평면도 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E07200 - SEMI E72 - 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E72 - 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E07300 - SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프
SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E07300 - SEMI E73 - 미세공폰프의 인타페스의 구조 - 드라이폰프
SEMI E73 - 미세공폰프의 인타페스의 구조 - 드라이폰프 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E07400 - SEMI E74 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 터보 분자 펌프
SEMI E74 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 터보 분자 펌프 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E07400 - SEMI E74 - 비공폰프노인타페스노후 - 타보모레큐라폰프
SEMI E74 - 비공폰프노인타페스노후 - 타보모레큐라폰프 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E07600 - SEMI E76 - 300mm 공정 장비용 가이드 시설 서비스에 대한 연결 지점
SEMI E76 - 300mm 공정 장비용 가이드 시설 서비스에 대한 연결 지점 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E07700 - SEMI E77 - 대체 가스를 사용하는 질량 유량 컨트롤러의 변환 계수 계산을 위한 테스트 방법
E07700 - SEMI E77 - 마스플로 콘트로라의 운영 체제의 대용 가스 사용에 관한 방법
E07800 - SEMI E78 - 장비의 ESD(Electrostatic Discharge) 및 ESA(Electrostatic Attraction) 평가 및 제어 가이드
E07800 - SEMI E78 - 装置のための静電気放電(ESD)와 静電気吸着(ESA)の評価와 管理へのgaid
E07900 - SEMI E79 - 장비 생산성의 정의 및 측정 사양
SEMI E79 - 장비 생산성의 정의 및 측정 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E08000 - SEMI E80 - 질량 유량 컨트롤러의 태도 감도 결정을 위한 테스트 방법(마운팅 위치)
E08000 - SEMI E80 - 마스플로 콘트로라의 姿勢感度(取付位置)決定の試験方法
SEMI E80 - 마스플로 콘트로라의 姿勢感度(取付位置)決定の試験方法 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E08100 - SEMI E81 - CIM후레임워크드메인아키테크체에 가용한 확정 거래
SEMI E81 - CIM후레임워크드메인아키테크체에 가용한 확정 거래 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
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