SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E06300 - SEMI E63 - 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더 사양
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1독킹 인타페스포트와 300mm 카트의 사양
SEMI E64 - SEMI E15.1독킹 인타페스포트와 300mm 카트의 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양
SEMI E64 - SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E06600 - SEMI E66 - 질량 흐름 컨트롤러에 의한 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法
E06700 - SEMI E67 - 질량 흐름 컨트롤러의 신뢰성을 결정하기 위한 테스트 방법
SEMI E67 - 질량 흐름 컨트롤러의 신뢰성을 결정하기 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E06700 - SEMI E67 - 마스플로 콘트로라의 신용 유지성 확정 시험 방법
SEMI E67 - 마스플로 콘트로라의 신용 유지성 확정 시험 방법 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E06800 - SEMI E68 - 질량 흐름 컨트롤러의 예열 시간 결정을 위한 테스트 방법
SEMI E68 - 질량 흐름 컨트롤러의 예열 시간 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E06900 - SEMI E69 - 열 질량 흐름 컨트롤러의 재현성 및 제로 드리프트를 결정하기 위한 테스트 방법
E07000 - SEMI E70 - 공구 수용 프로세스 가이드
SEMI E70 - 공구 수용 프로세스 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E07200 - SEMI E72 - 300mm 두께의 평면도
SEMI E72 - 300mm 두께의 평면도 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E07200 - SEMI E72 - 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E72 - 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E07300 - SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프
SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E07300 - SEMI E73 - 미세공폰프의 인타페스의 구조 - 드라이폰프
SEMI E73 - 미세공폰프의 인타페스의 구조 - 드라이폰프 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E07400 - SEMI E74 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 터보 분자 펌프
SEMI E74 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 터보 분자 펌프 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
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