SEMI E64 - SEMI E15.1독킹 인타페스포트와 300mm 카트의 사양 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww. semiviews.orgwww.semi.org에서 1997년 11월 20일 이전에 2005년 11월 11일.

注意:本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

本仕様は，Caria搬送カート와 のよびび要件を定義する。本仕様のねらいは，캘리아搬送카트와 SEMI E15.1適合ウェーハプロセスあるいは検査機器間のintaferesの一貫した位置決めを容易にする ことにある.

本標準は300 mm SEMI E15.1 適合ツールに限り適用される.

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

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