SEMI E73 - 미세공폰프의 인타페스의 구조 - 드라이폰프 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee ) で技術的に承認されている.現版は2012年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年4月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 에서 가능 합니다 .

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本standard は，드라이폰프(DRP)typeの真空ポンプに関する物理的および電気的intafeースを規定する。ponpのintaフェースを標準化する ことにより，により，ポンプに互換性を持たせる ことができる。데바이스메이커はproses装置を調達する際，本文書を使用するが，それは，ponpuの互換性に要求されるIntaferースを装置sapriyayに対して指定するためである。半導体プロses装置sapraiyヤも，ponpsapraiyyyに対して標準化されたインタフェースを指定する目的で，本文書を使用する。

 

本standardは, 300mm半導체 프로세스装置に提供される真空ポンプに適用される.

　

本standadard は, 以下のドライポンプの機械的および電気的Intafeースを規定する。 •機械的코네크타•制御信号とコネクta•電源

토코

네크

타

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.