SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

C08500 - SEMI C85 - Methyl Isobutyl Carbinol(MIBC) 가이드
SEMI C85 - Methyl Isobutyl Carbinol(MIBC) 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩241,000
C08600 - SEMI C86 - 에틸렌 글리콜 가이드
SEMI C86 - 에틸렌 글리콜 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩241,000
C08700 - SEMI C87 - 접촉 프로필로메트리에 의해 초순수 및 액체 화학물질 분배 시스템에 사용되는 폴리머 표면의 거칠기를 결정하기 위한 테스트 방법
C08800 - SEMI C88 - 1.125인치 유형 표면 실장 가스 분배 시스템용 샌드위치 부품 치수 사양
C08900 - SEMI C89 - 유도 결합 플라즈마 - 질량 분광법(ICP-MS)을 사용한 30nm 미만 정격 액체 필터의 입자 제거 성능 테스트 방법
C09000 - SEMI C90 - 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 퍼플루오로알콕시(PFA) 재료를 테스트하기 위한 테스트 방법 및 사양
C09100 - SEMI C91 - 가스 전달 구성 요소의 수분 건조 특성 결정을 위한 테스트 방법
C09200 - SEMI C92 - 염화제이철 용액을 사용하여 부식성 가스 시스템에 사용되는 스테인리스강 표면의 임계 피팅 온도를 결정하기 위한 테스트 방법
C09300 - SEMI C93 - 초순수 시스템의 폴란드 응용 프로그램에 사용되는 이온 교환 수지의 품질 결정을 위한 가이드
C09400 - SEMI C94 - 시클로헥사논 가이드
SEMI C94 - 시클로헥사논 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩241,000
C09500 - SEMI C95 - Pentakis Dimethylamino Tantalum 가이드
SEMI C95 - Pentakis Dimethylamino Tantalum 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩241,000
C09600 - SEMI C96 - 화학적 기계적 평탄화(CMP) 슬러리의 밀도 측정을 위한 테스트 방법
C09700 - SEMI C97 - 파이프라인 가스 또는 가압 가스 실린더로 전달되는 가스의 입자 수준 결정을 위한 사양
C09800 - SEMI C98 - 반도체 제조에 사용되는 화학적 기계적 평탄화(CMP) 입자 크기 분포(PSD) 측정 및 보고에 대한 안내서
C09900 - SEMI C99 - 화학적 기계적 평탄화(CMP) 슬러리 및 관련 화학물질의 전도도 측정을 위한 테스트 방법
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