SEMI C91 - 가스 전달 구성 요소의 수분 건조 특성 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

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이 테스트 방법은 가스 전달에 사용되는 구성 요소의 수분 건조 특성을 결정하는 절차를 설명합니다. 시스템. 이 테스트의 결과는 다음의 질적 순위에 사용될 수 있습니다. 수분 건조와 관련된 설계를 기반으로 한 가스 전달 구성 요소 시스템의 성능.

이 테스트 방법은 반도체 제조에 사용되는 가스 종의 정확한 전달을 위해 가스 전달 시스템에 사용되는 모든 유형의 인라인 구성 요소에 적용됩니다. 적용 가능한 인라인 구성 요소는 밸브(공압, 수동 및 하이브리드 유형), 질량 유량 컨트롤러(MFC), 압력 조절기, 필터 및 압력 게이지/변환기 및 유량계와 같은 수동 구성 요소입니다.

테스트 매체 — 테스트 매체는 질소입니다. 다른 불활성 가스는 퍼지 특성이 다르며 시스템을 건조시킬 수 있습니다. 더 빠르게 또는 느리게. 반응성 가스는 반응할 수 있으므로 사용하지 않아야 합니다. 습기로 화학적으로 내식성과 관련된 고려 사항은 다음과 같습니다. 비록 시험 절차가 부식 연구에 유용한 것으로 입증되었습니다. 결과는 다음과 같은 순위를 제공합니다. 설계의 차이로 인해 발생하는 수분 기여도와 관련하여.

작동 상황 — 가스 공급 구성 요소의 수분 기여는 부적절한 설계 및 구성, 제조 과정에서 발생하는 오염 또는 주변 공기 또는 건조하지 않은 가스에 대한 후속 노출로 인해 발생할 수 있습니다. 따라서 두 가지 주요 상황을 고려해야 합니다.

• 에 의해 결정되는 '초기 건조' 상황 받은 그대로의 상태에서 구성 요소의 수분 함량 제조 공정 및 디자인, 표면 품질, 전처리 및 포장이 복잡하게 얽혀 있습니다. 이 테스트는 선택 사항이므로 생략할 수 있습니다. 테스트 목적에
• 구성요소가 흡수한 수분의 양에 의해 결정되며 독립적으로 또는 가스 전달 시스템의 일부로 작동하는 동안 수령 후 모든 노출에서 방출되는 '이상에 대한 반응' 상황.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법

SEMI F112 — Cavity Ring Down Spectroscopy(CRDS)에 의한 표면 장착 및 기존 가스 전달 시스템의 수분 건조 특성 측정을 위한 테스트 방법

개정 내역

SEMI C91-1115(SEMI F118로 대체)

SEMI C91-1115(최초 발행)

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