SEMI C93 - 초순수 시스템의 폴란드 응용 프로그램에 사용되는 이온 교환 수지의 품질 결정을 위한 가이드 -

Abstract

이 표준은 초순수(UPW) 광택 응용 분야에 사용하기에 적합한 처녀 고순도 이온 교환(HPIX) 수지 분석을 위한 가이드를 설명합니다. UPW 시스템에 대한 자세한 내용은 SEMI F61에서 확인할 수 있습니다.

이 가이드는 UPW에 사용되는 HPIX 수지 분석에 중점을 둡니다. 이 가이드는 제조 공정에서 수지 오염의 영향을 최소화하는 매개변수 및 테스트 조건을 권장합니다.

가이드의 목적은 새 HPIX가 이온 교환(광택) 탱크에 로드될 때 장시간 헹굼을 방지하는 것입니다. 가이드 결과는 풀 스케일 애플리케이션을 대표해야 합니다.

이 가이드는 능동적인 품질 관리 접근 방식을 지원하기 위해 개발되었습니다. 일부 중요한 미량 오염 물질(즉, 크기가 5~10nm 범위인 입자 또는 낮은 PPQ 수준의 금속)은 현재 UPW에서 효과적으로 측정할 수 없다고 가정합니다. 이 가이드는 실험실 환경에서 사용할 수 있는 최상의 기술을 사용하여 오염 물질의 오프라인 측정 방식을 지원합니다. 이 가이드는 레진 품질을 결정하기 위해 많은 양의 레진을 필요로 하지 않습니다.

이 가이드에는 버진 HPIX 레진 샘플 취급 및 테스트 조건에 대한 권장 사항이 포함되어 있습니다.

이 가이드는 최신 레진의 성능에 대한 예를 제공합니다. 이 가이드에 따라 데이터를 얻었습니다. 그러나 품질 기준은 사용자별 요구 사항에 따라 최종 사용자가 결정해야 합니다.

이 가이드의 의도는 처녀 HPIX 수지에 초점을 맞추는 것입니다. 이 가이드에서 권장하는 대로 평가된 품질 매개변수에는 입자 기여도, 금속 기여도, 유기물 기여도, 증발 후 잔류물(RAE)(비휘발성 잔류물[NVR]) 및 부서진 비드 함량의 정량적 측정이 포함됩니다.

가이드는 처녀 HPIX 수지의 습윤 스트림 성능을 고려하고 수지 제조업체의 현재 제조 공정을 반영합니다.

이 가이드에서 참조하는 침출 절차는 정적 및 동적 조건 모두에 대한 값을 제공합니다. 시설에서 일반적으로 사용되는 수지의 품질을 확인하기 위해 정적 침출 시험이 권장되는 반면, 실제 혼합층 작업을 모방하는 조건에 가까운 경우 동적 시험이 권장됩니다. 이는 적절한 레진 선택에 도움이 됩니다. 동적 침출 테스트 또는 정적 침출 테스트를 선택하는 것은 최종 사용자의 요구에 따라 결정됩니다. 동적 침출 테스트를 사용하여 헹굼 세척량을 추정해야 합니다. 기본 처녀 수지 품질이 이미 확립된 경우 품질 보증을 위해 정적 침출 테스트를 사용해야 합니다(그렇지 않으면 동적 침출 테스트를 사용하여 헹굼 시간을 추정).

이 가이드 내의 테스트에는 혼합된 버진 HPIX 수지만 사용됩니다. 수지가 혼합되지 않은 형태(즉, 음이온 및 양이온)로 공급되는 경우 혼합된 시료가 분석에 사용됩니다.

이 가이드는 테스트된 순수 HPIX 수지가 혼합층 탱크에 적재되는 순수 HPIX 수지를 대표한다고 가정합니다. 테스트를 계획할 때 레진 보관 수명, 보관 및 배송 조건을 고려해야 합니다.

이 가이드는 반도체 제조 장비 및 보조 장비에 사용하기 위한 HPIX 모듈 사용 지점뿐 아니라 순수 HPIX 수지에도 적용됩니다.

이 가이드에는 최종 사용자가 수행할 수 있는 권장 분석 테스트가 포함되어 있습니다. 최종 사용자는 어떤 분석이 필요한지와 선택적 테스트를 수행할지 여부를 결정해야 합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양
SEMI F61 - 반도체 공정에 사용되는 초순수 시스템 가이드

개정 내역
SEMI C93-0522(기술 개정)
SEMI C93-0620(기술 개정)
SEMI C93-0217(예비 상태 제거됨)
SEMI C93-0216(예비)(초판)

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