SEMI C96 - 화학적 기계적 평탄화(CMP) 슬러리의 밀도 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 테스트 방법의 목적은 슬러리의 밀도를 측정하기 위한 표준화된 테스트 방법, 정의 밀도 측정을 위한 샘플 온도 및 수 지정 결과 측정값을 다음과 같이 측정해야 하는 유효 숫자 사용자로부터 해당 CoA(Certificate of Analysis)에 보고됩니다. 공급자.

이 테스트 방법은 오프라인(벤치탑) 계측 기기를 사용하여 단일 또는 다중 구성 요소 슬러리의 밀도를 측정하기 위한 조건 및 절차를 설명합니다.

이 테스트 방법은 슬러리 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

개정 내역

SEMI C96-1121(기술 개정)

SEMI C96-0618(최초 발행)

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