SEMI C90 - 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 퍼플루오로알콕시(PFA) 재료를 테스트하기 위한 테스트 방법 및 사양 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2015년 8월 31일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 10월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

이 문서는 액체 화학 물질 분배 시스템 구성 요소 및 수지를 평가하는 데 사용되는 화학 테스트 방법에 대한 구성 요소 준비 및 전처리 절차와 퍼플루오로알콕시(PFA) 수지를 정의합니다.

이 문서에는 액체 화학 물질 분배 시스템에 사용되는 PFA 수지 펠렛, 튜브 및 기타 구성 요소에 적용할 수 있는 준비 및 테스트 절차가 포함되어 있습니다.

이 문서는 시험 유체에서 액체 화학 물질 분배 시스템 샘플 재료의 평가에 사용되는 준비 및 전처리 절차를 정의합니다. 이 문서는 이러한 샘플을 침출하고 헹구는 데 사용할 수 있는 화학 물질의 순도를 정의합니다.

이 절차는 철 수준 분석을 위한 70°C 및 주변 온도에서의 샘플 침출에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C35 — 질산에 대한 사양 및 지침
SEMI C69 - 폴리머 펠릿의 표면적 측정을 위한 테스트 방법
SEMI F48 — 폴리머 재료의 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법
SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양

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