SEMI C95 - Pentakis Dimethylamino Tantalum 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 3월 16일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

　

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 펜타키스 디메틸아미노 탄탈륨(PDMAT)에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

　

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 원자층 증착에 의한 질화 탄탈 기반 층의 증착에 사용되는 PDMAT 계층을 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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