SEMI C92 - 염화제이철 용액을 사용하여 부식성 가스 시스템에 사용되는 스테인리스강 표면의 임계 피팅 온도를 결정하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

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이 테스트 방법의 목적은 반도체 제조를 위한 부식성 가스 분배 시스템에 사용하도록 의도된 부품의 젖은 표면의 피팅 부식에 대한 상대적 저항을 결정하는 것입니다. 이 테스트 방법은 ASTM G48을 채택한 것이며 다음을 위한 것입니다. 구성 또는 가공이 다른 스테인리스강을 구분합니다. 젖은 표면의 부식 성능에 영향을 미칠 수 있습니다. 상세한 방법에 대한 정보는 ASTM G48.

이 테스트 방법은 부식성 가스 시스템에 사용하기 위한 마감 처리된 표면의 구성 요소 또는 튜브의 젖은 표면의 구멍 내식성을 평가하는 데 사용할 수 있는 절차를 설명합니다. 피팅 부식은 반도체 가스 전달 시스템, 특히 습기가 있는 부식성 가스에 노출된 용접 부품 또는 튜브에서 잠재적인 부식 실패 메커니즘입니다.

이 테스트 방법은 ASTM G48 방법 E, 임계 피팅 온도 스테인리스 스틸에 대한 테스트. 적응은 다음을 수행하는 방법을 설명합니다. 가스 공급 시스템에서 잘라낸 쿠폰 또는 젖은 표면 섹션에 대한 테스트 방법 구성 요소 또는 튜브. 산성화된 제2철에 침지하는 방법이다. 염화물 용액.

이 테스트 방법은 재현 가능하며 내식성의 정성적(즉, 시각적) 평가와 함께 메트릭(즉, 임계 피팅 온도)을 제공합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

두 가구 연립 주택 F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양

개정 내역

SEMI C92-0216(SEMI F119로 대체)

SEMI C92-0216(최초 공개)

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