SEMI C97 - 파이프라인 가스 또는 가압 가스 실린더로 전달되는 가스의 입자 수준 결정을 위한 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 8월 17일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 11월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

알림: 이 문서는 SEMI C6.2, SEMI C6.3, SEMI C6.4, SEMI C6.5, SEMI C6.6 및 SEMI C6.7을 대체합니다.

이 문서는 파이프라인(벌크) 가스 또는 고압 가스 실린더에 포함된 가스로 전달되는 산소(O ₂ ), 수소(H ₂ ) 및 질소(N ₂ ) 가스에 대한 입자 사양 및 테스트 방법을 제공하기 위한 것입니다. 이러한 가스의 미립자 오염을 제어하기 위해.

이 문서는 표 1에 나열된 대로 가스, 전달 소스 및 입자 등급에 대한 입자 사양을 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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